标准型等离子体化学气相淀积台、全自动型等离子体化学气相淀积台,是干什么用的呢?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/02 09:16:49
标准型等离子体化学气相淀积台、全自动型等离子体化学气相淀积台,是干什么用的呢?

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等离子体化学气相沉积是一种薄膜生长工艺,相应的仪器用来制备薄膜.标准和全自动是仪器功能上的区别.